采购内容：高密度电感耦合等离子体刻蚀机

采购数量：*台

采购内容：氧化镓金厘有机化合物气相沉积系统

采购数量：*台

主要功能或目标：该设备利用电感耦合等离子体产生高能量的离子和自由基，可实现对多种超宽禁带材料的精确刻蚀，具备高刻蚀速率、高选择性、良好的均匀性和垂直度等优点。采购此设备旨在不同研究方向上对微纳结构加工的严格要求，实现高深宽比的微结构加工，提高探测器性能，同时提升研究效率，降低研究成本，保障技术保密性，推动高性能超宽禁带探测器研究的深入开展。

需满足的要求：质量保证期:验收合格之日起算一年;维修响应时限:报修后*小时内响应;电话支持:*×**小时;