技术指标： 真空腔室 真空专用 *** 不锈钢腔室，***×***×******；前开门结构。配内 衬防污板； 真空系统 ****/* 脂润滑分子泵+**/* 旋片式真空泵组成高真空抽气系统，“一 低一高”数显复合真空计； 真空极限 优于 *.*×******；漏率：优于 *×**－*****/*（国家标准）；关机 ** 小时后，真空度≤***； 抽速 抽气时间：从大气压到 **** **** 小于 *****； 基片台 抽屉式结构，基片台尺寸 *********，带水冷功能，配气动基片大挡板。样品台可旋转,**** 转/分连续可调，基片与蒸发源距离大于 ***** 且手动可调，手动升降调节最大距离 **** 可调. 样品台旋转：样品片台可旋转，*～** 转／分 连续可调。 蒸发源及电源 配 * 组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构(最高温度 **** 度）；配备 *.*** 蒸发电源 * 套。蒸发电源可以通过软件控制 膜厚控制系统 进口 ******* 公司，型号：******* 配备 * 只进口 ***** 水冷探头； 显示控制精度 *.** 埃；膜厚仪可自动控制金属蒸发电源输出。 均匀性 均匀性优于+/**%. 控制方式 西门子 ***+触摸屏手自动控制；可输入速率及终厚，*** 闭环控制 调节自动控制蒸发电源输出。

*.*.* 产品免费质保期为 * 年（整机）。 *.*.* 质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）。 *.*.* 质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由我公司 承担。 *.*.* 建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行。 *.*.* 在接到用户要求本公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技 术人员于 ** 小时内，赶到技术服务现场。 *.*.* 对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费。 *.*.* 所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 *.* 验收 *.*.* 依据合同相关供货清单及技术说明书进行检验验收。 *.*.* 当货物到达需方指定的交货地点后，供需双方依据设备供货清单共同对设备进行开箱 验收，并对设备的数量、品质进行逐项检查。如需方发现所提供设备的品质和技术 规范不符合合同要求时，或有明显损坏，需方有权向供方提出更换或维修。 *.*.* 如设备安装有特殊要求，供方应在设备安装之前向需方提出安装场地环境要求，并对 需方就安装场地环境的咨询提供技术支持。 *.*.* 在设备到达需方场地后，供方应尽快组织完成整套设备的安装调试。