高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。 一、底盘结构： *.采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门； *.底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 *.带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。 *.电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。 二、基片架结构 *.*可以固定*片***** * *****的基片，向下兼容，采用嵌入式结构。 *.电机驱动实现连续旋转，最大转速可达**转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 *.配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围***** * *****。 *.腔体门板上安装有长条形观察窗，并附带挡板，通过磁流体打开与关闭。 三、蒸发源 *.*组蒸发源，热阻式，用于材料蒸发，可蒸发常见金属、有机及金属氧化物以及其它材料，源与基片的垂直距离≥*****。 *.每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀。 *.每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转。 *.源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。 *.蒸发电源，功率不小于*.***，精度*.**，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。 四、自动化控制软件 *.*采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架。带有一键自动蒸镀功能。 *.控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。 五、膜厚控制系统 *.*个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 *.晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性。 *.*膜厚速率显示精度在±*.***/*，蒸镀速率，可蒸金属: 以À*为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±**%(*.***.**/*)，≤±*%(*.*****/*)，≤±*%(***;***/*)；单片内膜厚匀性≤*%。 六、真空室 *.真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为*****************，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 *.*真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。 *.腔体极限真空优于*.********，从常压到********不超过*****（充氮气保护） *.带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。 *.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口，并配备金属防污挡板。 七、真空系统 *.前级泵的抽速不低于*** ³/*。 *.主泵采用抽速≥****/*的分子泵。 *.主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥*****。 *.自动抽气控制，带安全互锁功能。 *.配有前级管路等相应的硬件。 *.真空室配真空计，测量范围为大气至******。 一、箱体 *．个不锈钢箱体，单面双工位设计，尺寸为******（长）******（宽）******（高）+******（长）******（宽）******（高），左侧箱体背部对接蒸镀机，材质为******不锈钢，厚度***。 *．两块倾斜的玻璃视窗，钢化玻璃厚度***,视窗与箱体之间的密封使用威格的专利密封技术，达到无泄漏。 *．四个铝合金手套口，由实心棒材加工而成。 *．两副丁基橡胶手套。 *．箱体背部设计三层搁物架，高度可调。 *．箱体预留有四个****标准接口。 *．双工位手套箱右侧工位，底部设计成钢板置物架。 *．安全阀，保护设备和手套箱内材料。 *．钢结构支架，高*****，安装有万向脚轮。 二、过渡舱 *.一个*型大过渡舱（右侧可再连接一个单工位手套箱） *)材质：******不锈钢，厚度***。 *)尺寸：Φ********* *)位置：位于箱体右侧 *)连接方式：法兰连接 *)传送方式：通过移动托盘，托盘易拆卸，方便转移体积大的物料 *)操作方式 *)手动操作：通过触摸屏点触阀门 *)自动操作：具有自动抽气和充气功能，用户只需在触摸屏上点触启动按键，***自动完成多次抽充程序，规范操作，节省时间，提高工作效率。用户可以设定抽充次数，每次抽气时间和充气压力。 *.一个小*型过渡舱（右侧可再连接一个单工位手套箱） *)材质：******不锈钢，厚度***。 *)尺寸：Φ********* *)位置：位于箱体右侧 *)连接方式：法兰连接 *)传送方式：通过移动托盘 *)操作方式：通过三通球阀手动操作 三、气体纯化系统（分体式，置于*型过度舱下） *.一个气体纯化柱： *)选择了最适合手套箱气体净化的高性能的铜催化剂和分子筛，用于除水和除氧 *)氧气和水的吸附量分别为**升和*公斤 *.气体纯化柱吸附饱和后，用含氢的氮气或氩气再生，恢复其吸附能力 *)用氢气/氮气混合气作为再生气。**：*%； **: **%。 *)由于威格手套箱的超低泄漏率，净化柱的再生频率约为每年一次。 *.一个循环风机 *)流量****/*。 *)安装在密闭的不锈钢容器内，不锈钢容器采用全焊接方式制作，密封性能好。 *)由于威格手套箱的超低泄漏率，循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作*分钟，极大地降低了由于风机运转产生的热量，使得气体纯化系统无需水冷却，也延长了风机的寿命 *.有机溶剂吸附柱 *)含活性炭颗粒吸附材料。 *)吸附饱和后，可更换材料。 *.电气动控制的循环主阀，****标准接口。 *.所有气路都由电磁阀控制，净化柱再生完全实现自动控制。 *.循环系统的进出口装有气体过滤器。 四、控制系统 *．控制系统由 ***和*”彩色触摸屏组成，用户友好的中英文操作界面。 *．实现以下控制功能： *)自动控制箱体压力 *)用户可以在+** 至***毫巴之间任意设定工作压力区间，***将自动调控箱体压力在设定范围内。工作压力区间的默认值为*至+*毫巴。 *)箱压大于**毫巴时，***自动开启安全阀泄压，保护手套、设备和箱体内的材料。 *)使用脚踏开关，对箱压进行微调。 *)单键实现过渡舱多次抽充气操作，节省时间 用户可以设定抽充次数、每次抽气时间和充气压力，然后启动自动抽充程序，在设定的时间内自动完成抽充。 *)循环净化可由箱体内水氧指标自动控制，极大地延长了风机寿命、降低手套箱内的温度并节省能源 *)可以手动或自动监测泄漏率 *)设定手动检测：只需按下启动检测按钮，***自动对箱体的密封性进行检测并报告箱体的泄漏率。 *)设定自动监测，***将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标。这样能及时发现破损的手套和密封条等情况。 *)箱内气体自动清洗功能 用户设定清洗时间，再触摸屏上点触启动按键，系统将开始清洗箱体，到设定的时间是自动停止。 *)系统历史数据自动记录和显示，也可以用*盘导出在特定时间内的数据，如箱压、水含量和氧含量 *)显示操作错误和提示 *)箱体气氛自动报警 *)所有操作均有预设条件，动作互锁，避免不安全操作损坏设备或破坏箱体内的气氛 **)使用了威格手套箱智能控制系统**.*嵌入式软件 五、技术指标 *．泄露率﹤*.******%/* *．箱体内水、氧含量：***﹤**** ，**﹤**** 六、蒸镀机 高真空镀膜系统由底盘结构，基片架装置，蒸发源，控制软件，膜厚控制系统，真空室，真空系统等组成。 *.底盘结构： *）采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门； *）底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 *）带有机械

按行业标准提供服务