*.* 腔室尺寸：Ф***×*****，**********优质不锈钢材质，氩弧焊接； *.* 样品台尺寸：Ф*****，高度：**～*****可调，旋转：*****/***可调；可加热至***℃，配独立挡板； *.* 真空系统：机械泵+国产分子泵（刀口法兰）；*******电磁挡板阀，****** 限流阀； *.* 极限真空：*.*×******； *.* 真空抽速：大气～*×****** ≤ *****； *.* 真空测量：全量程复合真空计，测量范围：*****～******； *.* 磁控靶：Φ*英寸*只配独立靶挡板，兼容直流电源和射频电源； *.* 溅射电源：*台****直流溅射电源和*台****全自动匹配射频电源； *.* 质量流量计：国产******、******质量流量控制器各一套； *.**控制方式：***+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能； *.**设备外形：*****×*****×******机电一体化机架（以实际尺寸为准），预留*个****法兰接口； *.** 设备供电总功率≤***，****，单相三线制（一火一零一地）； *.** 冷却循环系统：水压*.*～*.****，水温**～**℃，给设备相关需水冷部件提供稳定的制冷水；

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）