高真空磁控溅射仪（清采比选20250840号）采购公告
2025-05-22
北京
招标采购
高真空磁控溅射仪（清采比选20250840号）采购公告
北京-2025-05-22 00:00:00
北京-2025-05-22 00:00:00
高真空磁控溅射仪（清采比选********号）采购公告
发布时间：********** **:**:**阅读量：次
| 采购项目名称 | 高真空磁控溅射仪 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ********** **:**:** | 公告截止时间 | ********** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学指定地点 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空磁控溅射仪 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥***,***.** |
| 技术参数及配置要求 |
产品型号 ********* 本设备要求在温度 **℃±**℃，湿度 **%**±**%** 下使用。 *、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） *、电：****** ****，必须有良好接地 *、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 **.**%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø*** 双 卡套接头）及减压阀 *、工作台：尺寸 ******×*****×*****，承重 ***** 以上 *、通风装置：需要 主要参数 *、电源电压：**** **** *、总功率：＜*.*** *、腔体内径：Ø*****，真空室材质 *** 不锈钢。 *、极限真空 *.**** ****，从大气开始抽气，** 分钟后可达 *.**** ****。 *、真空计：复合真空计测量范围 *×** ***×** ****；薄膜规工作压强范围与精度 ******.*****,读数误差 *.*%，分辨率 *.***%*.*.。 *、靶枪数量：* 个(含一个强磁靶和三个普通靶)，靶极距：可调范围（******）** *、靶枪冷却方式：水冷 *、靶材尺寸：Ø*″，厚度 *.*******（因靶材材质不同厚度有所不同） *、配有三套直流电源，直流溅射功率：**** **、配有一套射频电源，射频溅射功率：**** **、四套电源可支持单独溅射、轮流溅射与多靶共溅射。 **、载样台：Ø*****，支持加热 ******℃，精度±*℃ **、载样台转速：********** 内可调 **、横向旋转样品台：可旋转，转速（******* 可调） **、保护气体：**、** 等惰性气体 **、进气气路：质量流量计控制 * 路进气，* 个流量为 *** ****，* 个流量为 *** **** 气体流量控制器准确度：准确度±*.*%*.*，线性±*%*.*，重复精度± *.*%*.*。 **、产品规格： ·尺寸： 主机尺寸：*****×******×******； * 直流电源控制系统 * 套 * * 射频电源控制系统 * 套 * * 膜厚监测仪系统 * 套 * * 分子泵 * 台 * * 聚酯 ** 管（Ø***） ** *、正常使用情况下，公司负责产品一年“三包”。（不包含配件耗材） *、售后质保：提供设备的系统说明书、详细操作流程及外购配件仪器仪表说明书。 在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终身维 修只核收工本费。 *、以签订合同及收到预付款时间为起点，备货期间，客户单位可随时到公司使用设备进行实验，（需 自己携带靶材等相关耗材），此期间不收取任何加工费等费用 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学
********** **:**:**
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