真空室底板上有*个*″磁控靶安装接口。真空室上有*****观察窗；真空室有*****法兰用于联接真空系统，有全套真空规（****法兰接口）用于测量真空。在真空室壁上还要有旁抽阀连接口一个，工作气体截止阀接口一个，充气阀联接口一个，真空测量规安装口三个，照明灯接口一个及若干备用口，****工作气体和干燥氮气充气口是由*路质量流量计和*路充气气路汇合到*个****真空截止阀；溅射镀膜室采用******/*****分子泵+宁波爱发科机械泵，极限真空优于 ********，停机**小时后***；系统漏率：≤*.*×******·*/*，测量采用北京大学产******数显复合真空计+****真空计；基片转动，转速为*～**转/分范围内连续可调；样品加热温度为室温到***℃；样品到靶的距离在*********范围内连续可调；可以加**~****伏的负偏压；磁控靶:*个，（进口产品），Φ*″磁控靶，靶水冷，射频和直流兼容；镀膜室采用外烘烤+内烘烤，设置室内照明；充气气路：在镀膜室上有*路通过质量流量计的进气气路，实现进气控制，另外有*路充氮气气路。*路气体均通过*个****超高真空截止阀，向镀膜室进气；真空室及泵系统等安装在*个工作台架上，工作台架由型钢焊接而成，台架上碳钢托板，上面罩不锈钢板。台架四周为碳钢围板，围板及台架均烤防锈漆及喷塑处理，整个台架外形美观，布局合理；系统配有***冷水机冷却系统，以便对磁控靶、分子泵等进行冷却。在水路上安装有水压报警保护装置，在系统缺水或水压不足的情况下发出警告铃声并及时切断相关电源，以避免损坏设备。水压*~*公斤/平

按行业标准提供服务