哈尔滨工业大学(深圳)洁净间配套设备意向公开
2025-03-27
广东/深圳
招标采购
哈尔滨工业大学(深圳)洁净间配套设备意向公开
广东/深圳-2025-03-27 00:00:00
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哈尔滨工业大学(深圳)洁净间配套设备意向公开
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哈尔滨工业大学(深圳)洁净间配套设备意向公开采购单位:哈尔滨工业大学(深圳)项目名称:洁净间配套设备预算金额(元):*******.*采购品目:*********科研用房采购需求情况:采购半导体加工平台所需的洁净间配套设备,包括:氢气(**)、氩气(**)、氨氢混合气纯化器;尾气处理器*台;特殊气体输送管道;尾排和排风管道;给排水管道;大型设备移位和电缆接入;工艺优化临时场地洁净间排风系统、***、板材等。供应气体种类:高纯氢气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氨氢混合气、普通氮气、硅烷、乙炔、三氯硅烷、***、三甲基铝、压缩空气、氧气、***、***、**、***、***、****、氯气、***等。支持氢气流速不低于******、氩气流速不低于*****、普通氮气流速不低于*****、高纯氮气流速不低于*****、***流速不低于*****。尾气处理系统可处理有机气体、氨气、固体颗粒等。供水管道可供应电阻不低于**Ω的去离子水,接入设备口流速不低于***/***。联系人:简劼
联系电话:***********预计采购时间:*******备注:本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。哈尔滨工业大学(深圳)**********
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