深圳技术大学教学业务经费（新）意向公开
2025-04-27
广东/深圳
招标采购
深圳技术大学教学业务经费（新）意向公开
广东/深圳-2025-04-27 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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深圳技术大学教学业务经费（新）意向公开
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深圳技术大学教学业务经费（新）意向公开
| 采购单位: | 深圳技术大学 |
| 项目名称: | 教学业务经费（新） |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | *、贴片固态源扩散炉 *.* 炉管适配晶圆尺寸：*英寸及以下圆片，产量≥**片/批 *.* 炉体及工艺管：炉体内径（三段控制）：≥φ*****；石英管直径：≥φ*****；炉体：温度 ****℃～***℃； *.* 均热区长度及精度：***℃≤工作温度≤****℃******±*.*℃；工作温度≤***℃*****±*℃；升温时间(从室温升至****℃)*≤*****。 *、快速退火炉 *.* 样片尺寸：*英寸圆片及向下兼容；加热温度范围:室温~****℃，加热方式:卤素灯管； *.* 升温速率：≥***℃/*裸晶圆；≥**℃/*碳化硅载盘； *.* 温度均匀度: ＜***℃，均匀度≤±*℃;≥***℃，均匀度≤±*%，温度控制重复性:±*℃，恒温持续时间:可依据要求编程； *.* ***:*路，氧气、氮气或氩气。 *、等离子增强化学气相沉积 *.* 样片尺寸：*英寸圆片及向下兼容； *.* 反应腔室：电容耦合等离子体模式；一体化加工腔室,进气方式：喷淋头进气； *.* 薄膜均匀性±*%； *.* 真空系统：罗茨泵和机械泵组合，真空测量：薄膜规，反应腔室真空度小于***； *.* 气路系统：*路进气，****、***、***、**、**、***、**或**, 数字流量计；*** 管路配件； *.* 射频系统：*****射频功率源，自动匹配； *.* 温度控制：载片台温度≤***℃，温控精度±* ℃。 *、磁控溅射台 *.* 样品基台：直径*英寸样品，满足多个小基片同时处理； *.* 反应腔室：***不锈钢材质，传输腔****铝一体加工，自动传输； *.* 靶座系统：*英寸圆形靶座*个，位于腔室下部； *.* 真空性能：本底真空优于*.********，真空系统：分子泵，机械泵； *.* 气路系统：标配*路进气，**和**； *.* 电源系统：****/**.*****自动匹配射频源*套；****直流源*套； *.* 样品载台：自转旋转*******可调； *.* 薄膜均匀性±*%。 *、膜厚测量仪 *.* 可测光滑的，半透明的或低吸收系数的电介质与半导体材料薄膜，测厚范围：*********； *.* 波长范围: ***** *******；精度：＜*.**** 或 *.**%；准确度：＜*.*% 或 ***；稳定性：<> |
| 联系人: | 宋惠雪 |
| 联系电话: | ************* |
| 预计采购时间: | ******* |
| 备注: | 无 |
