深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
2025-04-24
广东/深圳
招标采购
深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
广东/深圳-2025-04-24 00:00:00
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
广东/深圳-2025-04-24 00:00:00
深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
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深圳大学玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统意向公开
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 玻璃旋转清洗及多腔匀胶显影系统 |
| 预算金额（元）: | *,***,***.*** |
| 采购品目: | 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况: | 板级自动旋转式清洗机能够针对大尺寸非圆基板进行清洗，主要对基板表面非有机物颗粒进行清洗去除，达到工艺需求。相比传统基板级清洗设备，该设备能够兼容更大尺寸（*****×*****尺寸基板）。多腔全自动匀胶显影机使用于*/*寸晶圆，适配**、*****的材质，适应***以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和涂胶显影工艺。 |
| 预计采购时间: | ****** |
| 联系人: | 党老师 |
| 联系电话: | *********** |
| 备注: | 无 |
