哈尔滨工业大学（深圳）洁净间配套设备意向公开

2025-03-27

广东/深圳

招标采购

哈尔滨工业大学（深圳）洁净间配套设备意向公开
广东/深圳-2025-03-27 00:00:00

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采购单位:	哈尔滨工业大学（深圳）
项目名称:	洁净间配套设备
预算金额（元）:	,,.**
采购品目:	科研用房
采购需求概况:	采购半导体加工平台所需的洁净间配套设备，包括：氢气（）、氩气（）、氨氢混合气纯化器；尾气处理器台；特殊气体输送管道；尾排和排风管道；给排水管道；大型设备移位和电缆接入；工艺优化临时场地洁净间排风系统、、板材等。供应气体种类：高纯氢气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氨氢混合气、普通氮气、硅烷、乙炔、三氯硅烷、、三甲基铝、压缩空气、氧气、、、、、、*、氯气、等。支持氢气流速不低于***、氩气流速不低于*、普通氮气流速不低于*、高纯氮气流速不低于*、流速不低于**。尾气处理系统可处理有机气体、氨气、固体颗粒等。供水管道可供应电阻不低于Ω的去离子水，接入设备口流速不低于*/*。
联系人:	简老师
联系电话:	***********
预计采购时间:	*******
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准