磁控溅射薄膜沉积系统
2025-03-04
广东/广州
招标采购
磁控溅射薄膜沉积系统
广东/广州-2025-03-04 00:00:00
广东/广州-2025-03-04 00:00:00
中山大学电子与信息工程学院磁控溅射薄膜沉积系统采购项目
发布时间： ********** **:** 阅读量： *次
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项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | 中大招（货）[****]***号 | ||
| 项目名称 | 中山大学电子与信息工程学院磁控溅射薄膜沉积系统采购项目 | ||
| 申购主题 | 磁控溅射薄膜沉积系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | *** |
| 最高限价 | ***,***.**(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | ********** **:** | 报名及响应结束时间 | ********** **:** |
| 采购单位 | 中山大学 | ||
| 经办人 | 林老师 | 经办人电话 | ************ |
| 期望收货时间 | 合同签订后***天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | 广州市海珠区新港西路***号中山大学***栋广东省显示材料与技术重点实验室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用**签字 **操作手册下载 | ||
| 备注 | *、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 *、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第*条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 *、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。*、本项目需要使用**证书，请供应商根据指引（****://*******.****.***.**/*******/****）提前办理**证书。 *、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。 | ||
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采购明细
| *采购设备 | 磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 数量 | *台 |
| 参考品牌 |
“磁控溅射薄膜沉积系统”技术要求
| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | *. 可旋转样品台尺寸* 英寸，转速*~** ***连续可调 | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. 样品台温度连续可调范围包括：** ℃ 至 *** ℃ | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. 配备两个*英寸溅射枪，可兼容射频溅射和直流溅射工作模式 | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. 直流电源功率大于或等于*** *，射频电源功率大于或等于*** * | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. 可实现铬（**）、镍（**）、***等多种材料的薄膜沉积，沉积速率控制精度优于或等于** **/*** | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. ★ 在* 英寸硅片上沉积铬（**）、镍（**）、***薄膜，薄膜厚度均匀度优于**%（以*** **的铬薄膜定标）。薄膜厚度均匀度的测量方法采用：测量衬底表面上下左右中 * 个点的薄膜厚度，均匀度计算公式为计算公式为：均匀度=（*********）/（****+****） | 非常重要 | 是 | 是 |
| * | *. 在* 英寸硅片上沉积厚度为*** **的铬（**）薄膜，采用光学显微镜检测，在* **×* **区域内，直径大于* 微米的颗粒数量小于或等于** 个 | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. 溅射靶位的空间位置位于样品台的下方：样品台与溅射靶位的中心线与设备垂直方向所成角度小于或等于**° | 重要 | 否 | 否 |
| * | *. 配备独立气动档板防止交叉污染 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配备抽速大于或等于*** */***的无油干泵，配备抽速大于或等于*** */*的分子泵，工艺腔室真空度优于*×**^** **** | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配备全量程真空计，量程范围包括**** 至 *×**^** **** | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配备量程范围包括* 标准大气压 至 *×**^** ****的前级真空计 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配备量程范围包括*.* **** 至 *.* *****的工艺真空计 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配套氩气、氧气质量流量计，氩气流量计的流量控制范围包括* 至 *** ****，氧气流量计的流量控制范围包括* 至 ** **** | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配套全自动控制程序及软件 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 配置清单：磁控溅射薄膜沉积系统 * 台；无油干泵真空系统及测量装置 * 套；射频电源 * 套；直流电源 * 套；镀膜控制系统 * 套 | 重要 | 否 | 否 |
| ** | **. 售后服务和培训要求：*. 供应商应提供设备出厂检验合格证明材料，提供设备相关使用说明文件；*. 保修期内，凡属正常使用情况下，因产品质量问题引起的硬件故障，给予及时维修和技术咨询，** 小时响应，* 个工作日内上门服务或给出解决方案；*. 保修期届满前中标方工程师到采购方现场免费检修设备一次；*. 保修期后的设备控制软件升级费用包含在本次报价内；*. 提供维修工具包，满足大于或等于 * 年使用需求的易损易耗备用配件。用于保修期后（大于或等于两年）使用的备品备件包，投标人需在售后服务承诺函中提供详细的备品备件清单、列出单价；*. 负责设备使用及安全操作规范培训 | 重要 | 否 | 是 |
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资质要求
| 序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|---|
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| * | 第*条资质参数 | 符合性参数 |
填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
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商务要求
| 序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
|---|---|---|---|
| * | 整机免费保修年限（自验收合格之日算起） |
*年 *年 *年 *年及以上 |
是 |
| * | 合同履约 |
该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：****://***.*************.***:****/**********/********/******/****.***。注意： （*）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （*）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| * | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） |
厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式（仅针对本项目的授权请选择本项） |
是 |
